A. Voß

Institut für Strahlwerkzeuge (IFSW), Universität Stuttgart

1 paper

P49 · Poster · 109. Conference (2008)

Interferenzlithografische Herstellung von rotationssymmetrischen Sub-Lambda-Gitterstrukturen

M. Häfner, C. Pruss, W. Osten, M. Abdou-Ahmed, M. M. Vogel, A. Voß, T. Graf