G. Ehret

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany

43 papers

A19 · Talk · 124. Conference (2023)

The influence of wave vector error on surface form reconstruction employing a multiple aperture shear interferometer

N. Mitura, G. Ehret
A35 · Talk · 122. Conference (2021)

Machine learning based fitting of Zernike polynomials for annular subaperture stitching interferometry

M. Schake, G. Ehret
B8 · Talk · 122. Conference (2021)

Kalibrierung von Wellenfrontsystemen mit ebenen und sphärischen Wellenfronten

G. Ehret, J. Bautsch, M. Schulz
A31 · Talk · 121. Conference (2020)

Machine learning based fitting of Zernike polynomials for annular subaperture stitching interferometry

M. Schake, G. Ehret
B18 · Talk · 121. Conference (2020)

Four-dimensional calibration of a Multiple Aperture Shear-Interferometer

A. F. Müller, C. Falldorf, M. Agour , M. Lotzgeselle, A. Straub, G. Ehret, R. B. Bergmann
B41 · Talk · 121. Conference (2020)

Simulation einer hochgenauen optischen Formmessung an Freiformoptiken mit Größen bis zu 1,5 Metern

J. Spichtinger, M. Stavridis, A. Straub, C. Elster, M. Schulz, G. Ehret
P6 · Poster · 121. Conference (2020)

Kalibrierung von Wellenfrontsensoren mit ebenen und sphärischen Wellenfronten

G. Ehret, J. Bautsch, M. Schulz
P9 · Poster · 121. Conference (2020)

Iterative Bestimmung der Form von Asphären mittels Scher-Interferometrie und inversem Raytracing

M. Lotzgeselle, A. Straub, G. Ehret, A. F. Müller, C. Falldorf, R. B. Bergmann
B11 · Talk · 120. Conference (2019)

Vergleich unterschiedlicher Kleinwinkel-Deflektometrie-Verfahren zur Ebenheitsmessung

G. Ehret, M. Schulz
B12 · Talk · 120. Conference (2019)

Charakterisierung von Wellenfrontsensoren mittels sphärischer Wellenfronten

J. Bautsch, G. Ehret, U. Berg, J. Pfund, L. Wagner
P1 · Poster · 120. Conference (2019)

Konzept für eine hochgenaue und rückgeführte optische Formmessung an großen Optiken bis 1,5 Meter

J. Spichtinger, G. Ehret, M. Schulz, M. Stavridis, C. Elster
A12 · Talk · 119. Conference (2018)

Lens inspection using Multiple Aperture Shear Interferometry: Comparison to Wave Front Sensing Methods

C. Falldorf, A. Müller, M. Agour, J.-H. Hagemann, G. Ehret, R. B. Bergmann
P34 · Poster · 119. Conference (2018)

Hochgenaue und rückgeführte Charakterisierung von Wellenfrontsensoren

J. Bautsch, G. Ehret, U. Berg, J. Pfund, L. Wagner
P4 · Poster · 119. Conference (2018)

Konzept zur interferometrischen Formmessung mit einer nachgeführten Mehrzeilenkamera

S. Laubach, G. Ehret, J. Riebeling, P. Lehmann
P22 · Poster · 118. Conference (2017)

Rekonstruktionsalgorithmen zur genaueren Bestimmung der 3D-Topographie bei einem scannenden optischen Punktsensor

A. Straub, S. Laubach, G. Ehret, M. Stavridis, F. Schmähling, C. Elster
P23 · Poster · 118. Conference (2017)

Shearing-Interferometer mit unterschiedlich kohärenten Multilichtquellen zur optischen Formmessung optischer Oberflächen

J. Bautsch, J.-H. Hagemann, G. Ehret
P24 · Poster · 118. Conference (2017)

Verbesserte deflektometrische Ebenheitsmetrologie an großen Optiken durch den Einsatz von elektronischen Neigungssensoren

G. Ehret, M. Schulz
P20 · Poster · 117. Conference (2016)

Realization of a shearing interferometer with LED multipoint illumination for form characterization of optics

J.-H. Hagemann, G. Ehret, R. Bergmann, C. Falldorf
P36 · Poster · 117. Conference (2016)

Small-angle deflectometry with coherent and incoherent illumination

G. Ehret, S. Quabis, M. Schulz
P4 · Poster · 117. Conference (2016)

Dimensional optical metrology on deep sub-wavelength nanostructures

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann, M. Wurm
P66 · Poster · 117. Conference (2016)

Error analysis of an interferometric line-based form measuring system

S. Laubach, G. Ehret, J. Riebeling, P. Lehmann
P67 · Poster · 117. Conference (2016)

Optical form measurements with a scanning point sensor in null configuration

A. Straub, S. Laubach, G. Blobel, G. Ehret
P5 · Poster · 116. Conference (2015)

Calibration strategies for a new fast line-based form measuring system

S. Laubach, G. Ehret, H. Knell, P. Kühnhold, P. Lehmann
A11 · Talk · 115. Conference (2014)

Wave front characterization of Gaussian beams using shear interferometry and a weighted reconstructor

C. Falldorf, G. Ehret, M. Schulz, R. B. Bergmann
A20 · Talk · 115. Conference (2014)

Stitching streifenförmiger Subaperturen zur Formmessung

S. Laubach, G. Ehret, H. Knell, P. Kühnhold, P. Lehmann
A3 · Talk · 114. Conference (2013)

Sensorentwicklung zur deflektometrischen Topografiemessung mit sub-Millimeter Aperturen

G. Ehret, S. Quabis, M. Schulz, B. Andreas, R. D. Geckeler
P1 · Poster · 114. Conference (2013)

Internationaler Vergleich zur Topographiemessung an einer Planfläche

M. Schulz, S. Quabis, G. Ehret
P21 · Poster · 114. Conference (2013)

Weißlichtinterferometrie für die Formmessung

S. Laubach, G.Ehret
P27 · Poster · 113. Conference (2012)

Difference deflectometry with coupling mirrors for flatness measurements of rough or scattering surfaces

M. Schulz, G. Ehret
A4 · Talk · 112. Conference (2011)

Virtuelle und reale Experimente am neuen deflektometrischen Ebenheitsstandard

G. Ehret, M. Schulz, M. Baier, A. Fritzenreiter, W. Jöckel, M. Stavridis, C. Elster
P25 · Poster · 112. Conference (2011)

Asphärenmesstechnik im Rahmen des Europäischen Metrologie-Forschungsprogramms EMRP

M. Schulz, G. Ehret, E. Buhr, C. Elster
A20 · Talk · 111. Conference (2010)

Vergleich von hochgenauen deflektometrischen Verfahren für die Ebenheitsmetrologie

G. Ehret, M. Schulz, M. Baier, A. Fitzenreiter, M. Stavridis, C. Elster
P22 · Poster · 110. Conference (2009)

A new optical flatness reference measurement system

G. Ehret, M. Schulz, M. Baier, A. Fitzenreiter
A15 · Talk · 109. Conference (2008)

Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner
P34 · Poster · 109. Conference (2008)

Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

G. Ehret, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr, W. Mirandé
P27 · Poster · 108. Conference (2007)

Fokuskriterien zur Kantendetektion an Phasenobjekten

B. Bodermann, D. Bergmann, G. Ehret
P4 · Poster · 108. Conference (2007)

Rigorose Modellierung der Wechselwirkung optischer Strahlung mit stochastisch nanostrukturierten PMMA-Oberflächen

G. Ehret, E. Buhr,A. Höpe,M. Gebhardt,H.-M. Bitzer
P18 · Poster · 107. Conference (2006)

Reduzierung der Grenzflächenreflexion von PMMA durch stochastische Strukturierung

G. Ehret, E. Buhr, M. Gebhardt, H.-M. Bitzer
P49 · Poster · 107. Conference (2006)

Quantitative dimensionelle Mikroskopie an Mikro- und Nanostrukturen: Untersuchungen zum Einfluss verschiedener Kantengeometrien

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann
A27 · Talk · 106. Conference (2005)

Comparison of dark field microscopy with alternating grazing incidence illumination and bright field microscopy

G. Ehret, B. Bodermann, W. Mirandé
A29 · Talk · 106. Conference (2005)

Comparison of different microscope imaging models for different structure geometries on the basis of rigorous diffraction calculation

B. Bodermann, G. Ehret, W. Mirandé
P2 · Poster · 105. Conference (2004)

Einfluss von Polarisation, Einfallswinkel und Materialkonstanten bei der Dunkelfeldmikroskopie mit alternierender Beleuchtung bei streifendem Einfall

G. Ehret, B. Bodermann, W. Mirandé
P32 · Poster · 105. Conference (2004)

Einfluss geometrisch-optischer Strukturparameter sowie instrumenteller Parameter auf dimensionelle mikroskopische Messungen an Mikro- und Nanostrukturen

B. Bodermann, G. Ehret, W. Mirandé