Fokuskriterien zur Kantendetektion an Phasenobjekten

Eine wichtige Methode der dimensionellen Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen ist die optische Mikroskopie. Eine quantitative Bestimmung der Kantenposition und damit der Strukturbreiten mit hoher Genauigkeit ist nur durch den Vergleich der experimenteller mit modellierten Mikroskopbildern möglich. Ein wichtiger Parameter hierbei ist die Fokusierung: Es muß sowohl bei Messungen und bei Modellrechungen die gleiche Fokuseinstellung verwendet werden, ansonsten gibt es systematische Abweichungen der gemessenen Strukturbreiten. Bei Amplitudenobjekten wie z.B. Chrom-Linien auf Glas lässt sich der Fokus u. a. über die Steilheit der Kante sehr gut definieren und reproduzieren. Bei Phasenobjekten versagen diese Fokuskriterien. Ausgehend von den bekannten Fokuskriterien für Amplitudenobjekte werden neue Kriterien für Phasenobjekte vorgestellt und an Hand von rigorosen Modellrechungen im Hinblick auf eine hohe Sensitivität auf Fokusänderungen diskutiert. Die Ergebnisse werden mit UV-mikroskopischen Messungen an MoSi-Phasenmasken verglichen. Mit den neuen Fokuskriterien kann eine bessere Reproduzierbarkeit und Genauigkeit der Strukturbreitenmessung erreicht werden.