O. Paul

Dept. Microsystems Eng. - IMTEK, Univ. Freiburg, Georges-Koehler-Allee 103, 79110 Freiburg

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A13 · Vortrag · 111. Tagung (2010)

Measurement of nanometric deformations of microsystems

G. Pedrini, S. Maisch, J. Gaspar, O. Paul, W. Osten