S. Schulte

Carl Zeiss SMT AG

3 Beiträge

A11 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Interferogrammanalyse mit Trägerfrequenzverfahren und hoher lateraler Auflösung

S. Schulte, B. Dörband

A10 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

EUV-Lithographie - eine Herausforderung für die interferometrische Messtechnik

G. Seitz, S. Schulte, U. Dinger

A7 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Störreflexunterdrückung durch Modulation der Laserwellenlänge bei der interferometrischen Vermessung der Oberflächen von transparenten Planparallelplatten

S. Schulte, W. Kähler, B. Dörband, H. Müller