St. Bonifer

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig

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A12 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer

B. Bodermann , M. Wurm , St. Bonifer , J. Richter