St. Bonifer

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig

1 paper

A12 · Talk · 112. Conference (2011)

Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer

B. Bodermann , M. Wurm , St. Bonifer , J. Richter