DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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R. Steiner

Carl Zeiss Jena GmbH

4 Beiträge

P43 · Poster · 114. Tagung (2013)

Interferenzlithografie mit gesteuerter Belichtungsenergieverteilung

M. Burkhardt, R. Steiner, A. Gatto, S. Sinzinger
Poster PDF
A3 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Imaging gratings with modulated blaze realized by a combination of holography and reactive ion beam etching

M. Burkhardt, R. Fechner, L.Erdmann, F.Frost, R. Steiner, O. Sandfuchs, A. Schindler, A. Gatto, S. Sinzinger
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B27 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Holografisch mikrostrukturierte Gitter für Hochleistungs-spektrometer

O. Sandfuchs , M. Burkhardt , R. Steiner , A. Gatto , R. Brunner
Vortrag PDF
P47 · Poster · 112. Tagung (2011)

Möglichkeiten und Grenzen der interferenzlithografischen Herstellung modulierter Blazegitter

M. Burkhardt , O. Sandfuchs , A. Gatto , R. Steiner , St. Sinzinger
Poster PDF