H. Kuhn

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig

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P34 · Poster · 112. Tagung (2011)

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn