A28 · Talk · 119. Conference (2018)
Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR
M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger
A3 · Talk · 113. Conference (2012)
Imaging gratings with modulated blaze realized by a combination of holography and reactive ion beam etching
M. Burkhardt, R. Fechner, L.Erdmann, F.Frost, R. Steiner, O. Sandfuchs, A. Schindler, A. Gatto, S. Sinzinger