D. Bergmann

P21 · Poster · 124. Conference (2023)

Ein in-situ Verfahren zur Bestimmung der numerischen Aperturen (NA) der Beleuchtung und der Abbildung optischer Mikroskope

J. Krüger, D. Bergmann, R. Köning, B. Bodermann

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P27 · Poster · 117. Conference (2016)

Improved method for optical linewidth measurements

M. Wurm, D. Bergmann, E. Buhr

P4 · Poster · 117. Conference (2016)

Dimensional optical metrology on deep sub-wavelength nanostructures

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann, M. Wurm

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P43 · Poster · 113. Conference (2012)

Traceable measurement of nanoparticle size using transmission scanning electron microscopy (TSEM)

E. Buhr, T. Klein, D. Bergmann, C.G. Frase

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P34 · Poster · 112. Conference (2011)

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn

A26 · Talk · 111. Conference (2010)

Aufbau eines 193 nm Mikroskops als Strukturbreitenmesssystem für Photomasken

Z. Li, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr

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P34 · Poster · 109. Conference (2008)

Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

G. Ehret, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr, W. Mirandé

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P27 · Poster · 108. Conference (2007)

Fokuskriterien zur Kantendetektion an Phasenobjekten

B. Bodermann, D. Bergmann, G. Ehret

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P49 · Poster · 107. Conference (2006)

Quantitative dimensionelle Mikroskopie an Mikro- und Nanostrukturen: Untersuchungen zum Einfluss verschiedener Kantengeometrien

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann

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A31 · Talk · 106. Conference (2005)

Application of digital image sensors in microscopy fpr traceable measurements of 2-dimensional structures: Problems and potential solutions

W. Michaelis, D. Bergmann, E. Buhr

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