E. Buhr
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig
12 papers
P33 · Poster · 119. Conference (2018)
Entwicklung einer hochgenauen Referenzanlage zur Messung der Modulationstransferfunktion von Objektiven
P27 · Poster · 117. Conference (2016)
Improved method for optical linewidth measurements
H1 · Keynote · 114. Conference (2013)
Licht und Maß: Die SI-Einheiten Meter, Sekunde und Candela
P43 · Poster · 113. Conference (2012)
Traceable measurement of nanoparticle size using transmission scanning electron microscopy (TSEM)
P25 · Poster · 112. Conference (2011)
Asphärenmesstechnik im Rahmen des Europäischen Metrologie-Forschungsprogramms EMRP
A26 · Talk · 111. Conference (2010)
Aufbau eines 193 nm Mikroskops als Strukturbreitenmesssystem für Photomasken
A15 · Talk · 109. Conference (2008)
Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis
P34 · Poster · 109. Conference (2008)
Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
P4 · Poster · 108. Conference (2007)
Rigorose Modellierung der Wechselwirkung optischer Strahlung mit stochastisch nanostrukturierten PMMA-Oberflächen
P18 · Poster · 107. Conference (2006)
Reduzierung der Grenzflächenreflexion von PMMA durch stochastische Strukturierung
P46 · Poster · 107. Conference (2006)
Kalibrierung der Gitterkonstante ein- und zweidimensionaler Gitter mit optischer Beugung
A31 · Talk · 106. Conference (2005)