DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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M. Steglich

Carl Zeiss Jena GmbH

3 Beiträge

B30 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr
A31 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Si-microstructures for back-illuminated Ge-on-Si photodetectors

D. Schmelz, K. Dietrich, M. Steglich, U. D. Zeitner
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B15 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Musterprojektion im kurzwelligen Infrarot (SWIR): augensichere 3D-Formmessung mit hoher Genauigkeit

S. Heist , M. Landmann , M. Steglich, Y. Zhang, P. Kühmstedt, G. Notni