DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

M. Steglich

Carl Zeiss Jena GmbH

3 papers

B30 · Talk · 123. Conference (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr
A31 · Talk · 120. Conference (2019)

Si-microstructures for back-illuminated Ge-on-Si photodetectors

D. Schmelz, K. Dietrich, M. Steglich, U. D. Zeitner
Talk PDF
B15 · Talk · 120. Conference (2019)

Musterprojektion im kurzwelligen Infrarot (SWIR): augensichere 3D-Formmessung mit hoher Genauigkeit

S. Heist , M. Landmann , M. Steglich, Y. Zhang, P. Kühmstedt, G. Notni