A. Zagler

Ostbayerische Technische Hochschule Regenbsurg;

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P29 · Poster · 120. Tagung (2019)

Mikro-Heißprägen von MEMS Substraten aus Glas am Beispiel CMUT basierter Sensoren

A. Kasberger, F. Landgraf, A. Zagler, R. Förg