A. Zagler

Ostbayerische Technische Hochschule Regenbsurg;

1 paper

P29 · Poster · 120. Conference (2019)

Mikro-Heißprägen von MEMS Substraten aus Glas am Beispiel CMUT basierter Sensoren

A. Kasberger, F. Landgraf, A. Zagler, R. Förg