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ISSN 1614-8436
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A. Finzel
A. Finzel
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, 04318 Leipzig, Deutschland
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P31 · Poster · 120. Conference (2019)
Reaktives Ionenstrahlätzen von hochdispersiven Transmissionsgittern mit höchster Beugungseffizienz
G. Dornberg, A. Finzel, F. Koch, S. Görsch, F. Frost, T. Glaser