B34 · Vortrag · 123. Tagung (2022)
Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen
J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger
A2 · Vortrag · 122. Tagung (2021)
Ellipsometrie zur Charakterisierung optischer Beugungsgitter mit hohem Aspektverhältnis
J. Wüster, A. Knauer, S. Sinzinger