C. Krause

BIAS-Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359 Bremen, Germany

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B22 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Statistisches Auswertungsverfahren zur Stufenhöhenmessung mittels Multi-Lambda-Scherinterferometrie

C. Krause, C. Falldorf, R. B. Bergmann