T. Schuster

Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart

3 papers

P5 · Poster · 109. Conference (2008)

Simulation von Gitterbeugung mit der Normalenvektormethode

P. Götz, T. Schuster, K. Frenner, S. Rafler, W. Osten

B10 · Talk · 108. Conference (2007)

Strategien für die Beschleunigung der Bildsimulation bei der Defekterkennung an Nanostrukturen

S. Rafler, T. Schuster, U. Seifert, W. Osten

B5 · Talk · 107. Conference (2006)

Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen

T. Schuster, J. Kauffmann, N. Kerwien, H. J. Tiziani, W. Osten, P. Reinig