J. S. Fischer-Calderón

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau

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A10 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J.S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske