DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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C. Lutzweiler

Carl Zeiss AG, Jena

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B19 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Improving optical metrology by subpixel reference imaging simulations

D. Seidel, J. Umlauft, C. Lutzweiler, C. Husemann