B16 · Vortrag · 109. Tagung (2008)
Rekonstruktion der Gitterparameter zweidimensionaler Gitter mit Hilfe der RCWA und analytischer Gradientenberechnung
B. Trauter , J. Hetzler
B8 · Vortrag · 107. Tagung (2006)
Die Höhen-Transfer-Funktion (HTF) zur Charakterisierung der lateralen Auflösung in Interferometern
B. Dörband, J. Hetzler