V. Burgarth

ASML Berlin GmbH

3 Beiträge

A25 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Evaluation of the scalable interferometer „Mickey 350“

A. Bielke, V. Burgarth

A17 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Scalable Fizeau Interferometer

A. Bielke, V. Burgarth, M. Petrov

B41 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Using a white noise reference object to determine the depth of field of the instrument transfer function for Fizeau interferometers

D. Fischer, V. Burgarth