T. Flügel-Paul

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena

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B20 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Realisierung eines hoch-NA Punktmustergenerators durch Implementierung binärer Subwellenstrukturen

A. C. Klein, T. Flügel-Paul, R. Brüning