2D-Deflektometrie: Hochgenaue Topographiemessung großer optischer Flächen

Basierend auf der 2D-Erweiterung der ESAD-Deflektometrie (Extended Shear Angle Difference) wurde eine Anlage zur hochgenauen Topographiemessung großer (bis 600 mm) optischer Planflächen realisiert. Mittels eines modifizierten, hochauflösenden Autokollimators werden zeitgleich an drei lateral versetzten Messpunkten die 2D-Reflexionswinkel an der Prüflingsoberfläche gemessen. Die Differenzen der Reflexionswinkelvektoren werden entlang radialer Scans erfasst, die die komplette Prüflingsfläche abdecken. Aus den Winkeldifferenzdaten kann mit den ESAD-Algorithmen und einer neuen Methode zur Kombination der unabhängig gemessenen Scans die 2D-Winkeltopographie rekonstruiert werden. Im Detail werden sowohl die Anlage, die mathematischen Algorithmen zur Datenanalyse als auch erste Messungen an Planflächen vorgestellt.