Verbessertes "Polarization Ray Tracing" von optischen Dünnfilmsystemen für AT-DUV-Objektive

Normalerweise geht "Polarization Ray Tracing" (PRT) von der Äquivalenz eines "Strahls" zu einer "lokalisierten" ebenen Welle aus und ignoriert dabei völlig die geometrisch-optische Dicke von Dünnfilmsystemen (z.B. Antireflexionsschichten). Bei nichtnormalem Einfall führt diese Dicke aber zu einem Versatz des äquivalenten Strahls, woraus auf einer gekrümmten Fläche (und den Folgeflächen) auch noch eine Winkeländerung folgt. Durch Modellierung eines "Strahls" als Bündel endlicher Apertur und Ausdehnung, ist es möglich Versatz und Kippung aus Dünnfilmeigenschaften und Krümmung zu berechnen und in ein reguläres PRT- Konzept zu integrieren. Wir untersuchen hiermit AT-DUV Mikroskopobjektive hoher Apertur mit "air-spaced" Design, die mit >30, teilweise stark gekrümmten Luft-Glas Flächen, großen Einfallswinkeln, komplexen AR- Schichten und geringen Toleranzen hier besonders kritisch sind.