Messung gekrümmter Oberflächen mit einem absoluten Vielfachsensorsystem

Um auch gekrümmte optische Oberflächen hochgenau und mit einer hohen Ortsauflösung messen zu können, wurde unlängst ein neues Verfahren vorgestellt [1], das ein System aus gekoppelten Abstandssensoren in Kombination mit einem Autokollimator nutzt. Es kann auch den quadratischen Anteil der Topographie hochgenau bestimmen. Die einzelnen Messgrößen des Systems lassen sich auf die SI - Einheiten zurückführen. Daher wird es als Traceable Multiple Sensor system (TMS) bezeichnet. Details des Messverfahrens, Potenzial, Fehlereinflüsse und Grenzen für ein TMS – System mit Linearführung werden vorgestellt und der Einsatz für verschiedene Prüflingsformen wird diskutiert. Die Ergebnisse der Untersuchungen zeigen, dass das TMS -System hinsichtlich Dynamik und Ortsauflösung einem klassischen Interferometer weit überlegen ist. [1] M. Schulz: Traceable Multiple Sensor Systems for High-Accuracy Form Measurement, DGaO-Proceedings 2005, P10