Die Höhen-Transfer-Funktion (HTF) zur Charakterisierung der lateralen Auflösung in Interferometern

Die laterale Auflösung in Interferometern wird sowohl durch das optische Design seiner Komponenten als auch durch die Größe der Blende limitiert. Die Oberflächendeformation einer Testfläche wird einer reflektierten Wellenfront aufgeprägt, die durch die Interferometeranordnung auf die Kamera abgebildet wird. Die MTF beschreibt die Übertragungseigenschaften von intensitätsmodulierten Objekten, ist jedoch zur Charakterisierung der Übertragung von Phasenstrukturen wenig geeignet. Wir schlagen eine Höhen-Transfer-Funktion (HTF) vor, die sich aus dem Quotienten der Amplitude von übertragener Phasenstruktur zu Amplitude der sinusförmigen Objektstruktur als Funktion der Ortswellenlänge ergibt. Die HTF kann durch Kombination von Ray Tracing und Fourier-Transformationsmethoden rechnerisch bestimmt werden. Die HTFs zweier verschiedener Anordnungen zur Asphärenprüfung werden miteinander verglichen. Anordnungen zur experimentellen Bestimmung der Interferometer-HTF werden angegeben.