Hochaufgelöste interferometrische Absolutmessung rotationssymmetrischer Oberflächen-Fehler

Das Grundproblem interferometrischer Absolutmessverfahren ist die Eliminierung des Interferometer-Fehlers. Erreicht wird das durch Differenzbildung zweier Messungen, wobei die Prüflings-Oberfläche zwischen beiden Messungen definiert verschoben wird. Aus der Differenz-Wellenfront folgt der Differenzen-Quotient des Prüflings-Fehlers, aus dem unter Verwendung des Verschiebungs-Vektors der Oberflächen-Fehler rekonstruiert werden kann. Bekannte Rekonstruktionsverfahren basieren auf der Anpassung von Polynomen an die Differenz- Wellenfront. Ergebnis dieser Verfahren sind Beschreibungen der Prüflings-Oberfläche durch ent- sprechende Polynom-Koeffizienten, verbunden mit einem entsprechenden Verlust an Lateral-Auflösung. Vorgestellt wird hier ein Verfahren zur verlustfreien und damit pixelgenauen Rekonstruktion aller rotationssymmetrischen Fehler der Prüflings-Oberfläche.