Hochaufgelöste interferometrische Absolutmessung rotationssymmetrischer Oberflächen-Fehler
- Carl Zeiss SMT GmbH
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Das Grundproblem interferometrischer Absolutmessverfahren ist die Eliminierung des Interferometer-Fehlers. Erreicht wird das durch Differenzbildung zweier Messungen, wobei die Prüflings-Oberfläche zwischen beiden Messungen definiert verschoben wird. Aus der Differenz-Wellenfront folgt der Differenzen-Quotient des Prüflings-Fehlers, aus dem unter Verwendung des Verschiebungs-Vektors der Oberflächen-Fehler rekonstruiert werden kann. Bekannte Rekonstruktionsverfahren basieren auf der Anpassung von Polynomen an die Differenz- Wellenfront. Ergebnis dieser Verfahren sind Beschreibungen der Prüflings-Oberfläche durch ent- sprechende Polynom-Koeffizienten, verbunden mit einem entsprechenden Verlust an Lateral-Auflösung. Vorgestellt wird hier ein Verfahren zur verlustfreien und damit pixelgenauen Rekonstruktion aller rotationssymmetrischen Fehler der Prüflings-Oberfläche.
@inproceedings{seitz2006b9,
author = {Seitz, Guenther},
title = {{Hochaufgelöste interferometrische Absolutmessung rotationssymmetrischer Oberflächen-Fehler}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2006},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {107. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2006-06-07/2006-06-10},
venue = {Weingarten},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2006},
pages = {B9},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/107-b9}
}