Sensitive und flexible Streulichtmesstechnik für den tiefen UV- bis infraroten Spektralbereich

Im Zusammenhang mit den stetig wachsenden Anforderungen an optische Oberflächen, Komponenten und Systeme, stehen Streulichtmessverfahren zur Verlustbestimmung, Rauheitsmessung oder Defekterkennung vor neuen Herausforderungen. Am Fraunhofer Institut in Jena wurden Systeme entwickelt, die totale und winkelaufgelöste Streulichtmessungen (TS bzw. ARS) vom tiefen ultravioletten über den sichtbaren bis hin zum infraroten Spektralbereich ermöglichen. Für TS werden Sensitivitäten bis unter 5x10-8 und für ARS Dynamikbereiche von bis zu 15 Größenordnungen erreicht. Dies ermöglicht ein breites Anwendungsgebiet, das von der Untersuchung von Vielschichtsystemen mit ausgeprägter Nanostruktur bis hin zu extrem glatten Substratoberflächen reicht. Die Leistungsfähigkeit der entwickelten Messsyteme wird an Beispielen für die Streulicht- und Rauheitsanalyse an dielektrischen Spiegeln, präzisionsbearbeiteten Oberflächen sowie extrem glatten Komponenten für EUV-Anwendungen demonstriert.