Reduzierung der Grenzflächenreflexion von PMMA durch stochastische Strukturierung

Nicht nur durch eine regelmäßige Strukturierung von Oberflächen (Mottenaugeneffekt), sondern auch durch eine unregelmäßige Strukturierung im Subwellenlängenbereich kann die optische Grenzflächenreflexion breitbandig reduziert werden. Fresnel Optics GmbH hat ein Plasma-Ätzverfahren zur Erzeugung einer solchen stochastischen Antireflexschicht an Polymeroberflächen realisiert, mit der die Grenzflächenreflexion von PMMA von 4% auf 0.5% reduziert werden kann. Ein Vorteil dieser Methode ist, dass man sie bei beliebig geformten optischen Grenzflächen anwenden kann. Rigorose Modellrechnungen zeigen, dass die Wirksamkeit der Antireflexschicht sowohl von der mittleren Tiefe, dem mittleren Abstand als auch von dem mittleren Füllfaktor der Nanostrukturen abhängt. Mit unterschiedlichen Prozessparametern strukturierte PMMA-Oberflächen werden vorgestellt. REM-Aufnahmen machen die erzeugten Strukturen sichtbar und dienen zur Bestimmung von Geometriegrößen, während Reflexions- und Streulichtmessungen die Wirksamkeit der strukturierten PMMA-Oberflächen demonstrieren. Der Vergleich der Ergebnisse zeigt Optimierungsmöglichkeiten auf.