G. Ehret
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany
43 Beiträge
A19 · Vortrag · 124. Tagung (2023)
The influence of wave vector error on surface form reconstruction employing a multiple aperture shear interferometer
A35 · Vortrag · 122. Tagung (2021)
Machine learning based fitting of Zernike polynomials for annular subaperture stitching interferometry
B8 · Vortrag · 122. Tagung (2021)
Kalibrierung von Wellenfrontsystemen mit ebenen und sphärischen Wellenfronten
A31 · Vortrag · 121. Tagung (2020)
Machine learning based fitting of Zernike polynomials for annular subaperture stitching interferometry
B18 · Vortrag · 121. Tagung (2020)
Four-dimensional calibration of a Multiple Aperture Shear-Interferometer
B41 · Vortrag · 121. Tagung (2020)
Simulation einer hochgenauen optischen Formmessung an Freiformoptiken mit Größen bis zu 1,5 Metern
P6 · Poster · 121. Tagung (2020)
Kalibrierung von Wellenfrontsensoren mit ebenen und sphärischen Wellenfronten
P9 · Poster · 121. Tagung (2020)
Iterative Bestimmung der Form von Asphären mittels Scher-Interferometrie und inversem Raytracing
B11 · Vortrag · 120. Tagung (2019)
Vergleich unterschiedlicher Kleinwinkel-Deflektometrie-Verfahren zur Ebenheitsmessung
B12 · Vortrag · 120. Tagung (2019)
Charakterisierung von Wellenfrontsensoren mittels sphärischer Wellenfronten
P1 · Poster · 120. Tagung (2019)
Konzept für eine hochgenaue und rückgeführte optische Formmessung an großen Optiken bis 1,5 Meter
A12 · Vortrag · 119. Tagung (2018)
Lens inspection using Multiple Aperture Shear Interferometry: Comparison to Wave Front Sensing Methods
P34 · Poster · 119. Tagung (2018)
Hochgenaue und rückgeführte Charakterisierung von Wellenfrontsensoren
P4 · Poster · 119. Tagung (2018)
Konzept zur interferometrischen Formmessung mit einer nachgeführten Mehrzeilenkamera
P22 · Poster · 118. Tagung (2017)
Rekonstruktionsalgorithmen zur genaueren Bestimmung der 3D-Topographie bei einem scannenden optischen Punktsensor
P23 · Poster · 118. Tagung (2017)
Shearing-Interferometer mit unterschiedlich kohärenten Multilichtquellen zur optischen Formmessung optischer Oberflächen
P24 · Poster · 118. Tagung (2017)
Verbesserte deflektometrische Ebenheitsmetrologie an großen Optiken durch den Einsatz von elektronischen Neigungssensoren
P20 · Poster · 117. Tagung (2016)
Realization of a shearing interferometer with LED multipoint illumination for form characterization of optics
P36 · Poster · 117. Tagung (2016)
Small-angle deflectometry with coherent and incoherent illumination
P4 · Poster · 117. Tagung (2016)
Dimensional optical metrology on deep sub-wavelength nanostructures
P66 · Poster · 117. Tagung (2016)
Error analysis of an interferometric line-based form measuring system
P67 · Poster · 117. Tagung (2016)
Optical form measurements with a scanning point sensor in null configuration
P5 · Poster · 116. Tagung (2015)
Calibration strategies for a new fast line-based form measuring system
A11 · Vortrag · 115. Tagung (2014)
Wave front characterization of Gaussian beams using shear interferometry and a weighted reconstructor
A20 · Vortrag · 115. Tagung (2014)
Stitching streifenförmiger Subaperturen zur Formmessung
A3 · Vortrag · 114. Tagung (2013)
Sensorentwicklung zur deflektometrischen Topografiemessung mit sub-Millimeter Aperturen
P1 · Poster · 114. Tagung (2013)
Internationaler Vergleich zur Topographiemessung an einer Planfläche
P21 · Poster · 114. Tagung (2013)
Weißlichtinterferometrie für die Formmessung
P27 · Poster · 113. Tagung (2012)
Difference deflectometry with coupling mirrors for flatness measurements of rough or scattering surfaces
A4 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Virtuelle und reale Experimente am neuen deflektometrischen Ebenheitsstandard
P25 · Poster · 112. Tagung (2011)
Asphärenmesstechnik im Rahmen des Europäischen Metrologie-Forschungsprogramms EMRP
A20 · Vortrag · 111. Tagung (2010)
Vergleich von hochgenauen deflektometrischen Verfahren für die Ebenheitsmetrologie
P22 · Poster · 110. Tagung (2009)
A new optical flatness reference measurement system
A15 · Vortrag · 109. Tagung (2008)
Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis
P34 · Poster · 109. Tagung (2008)
Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
P27 · Poster · 108. Tagung (2007)
Fokuskriterien zur Kantendetektion an Phasenobjekten
P4 · Poster · 108. Tagung (2007)
Rigorose Modellierung der Wechselwirkung optischer Strahlung mit stochastisch nanostrukturierten PMMA-Oberflächen
P18 · Poster · 107. Tagung (2006)
Reduzierung der Grenzflächenreflexion von PMMA durch stochastische Strukturierung
P49 · Poster · 107. Tagung (2006)
Quantitative dimensionelle Mikroskopie an Mikro- und Nanostrukturen: Untersuchungen zum Einfluss verschiedener Kantengeometrien
A27 · Vortrag · 106. Tagung (2005)
Comparison of dark field microscopy with alternating grazing incidence illumination and bright field microscopy
A29 · Vortrag · 106. Tagung (2005)
Comparison of different microscope imaging models for different structure geometries on the basis of rigorous diffraction calculation
P2 · Poster · 105. Tagung (2004)
Einfluss von Polarisation, Einfallswinkel und Materialkonstanten bei der Dunkelfeldmikroskopie mit alternierender Beleuchtung bei streifendem Einfall
P32 · Poster · 105. Tagung (2004)