Nicht-Null Test in Durchlicht und Auflicht

Johannes Pfund, Mathias Beyerlein, Ralf Dorn, Jürgen Lamprecht
  1. Optocraft GmbH

j [dot] pfund [at] optocraft [dot] de

Sowohl durch die zunehmende Verwendung von Asphären in Produkten die in hoher Stückzahl hergestellt werden als auch durch den Einsatz von einzeln nicht korrigierten Optiken bzw. Optik-Baugruppen sind in der optischen Prüftechnik Wellenfronten zu erfassen, die meist nicht mittels interferometrischer Methoden detektierbar sind. Shack-Hartmann Sensoren bieten hier eine geeignete Alternative, wenn eine reduzierte laterale Auflösung akzeptiert werden kann. Es werden Mess- und Kalibrierstrategien für Nicht-Null Tests diskutiert, sowie Beispiele für Auflicht- und Durchlichtprüfung und die dabei erzielten Genauigkeiten vorgestellt.

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@inproceedings{pfund2006p26,
  author     = {Pfund, Johannes and Beyerlein, Mathias and Dorn, Ralf and Lamprecht, Jürgen},
  title      = {{Nicht-Null Test in Durchlicht und Auflicht}},
  booktitle  = {DGaO-Proceedings 2006},
  series     = {DGaO-Proceedings},
  eventtitle = {107. Jahrestagung der DGaO},
  eventdate  = {2006-06-07/2006-06-10},
  venue      = {Weingarten},
  publisher  = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
  year       = {2006},
  pages      = {P26},
  langid     = {ngerman},
  url        = {https://dgao-proceedings.de/paper/107-p26}
}
107. Jahrestagung der DGaO · Weingarten · 2006