Vermessung von Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien
DIOPTIC GmbH
Abstract
Die DIOPTIC GmbH stellt ein modulares Erweiterungskit zur interferometrischen Vermessung von sphärischen Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien vor. Die sphärische Prüfwelle wird durch Kombination einer Diffraktiven Fizeau Null Linse (DFNL) [1] und eines Achromaten erzeugt. Durch Variation des Abstandes zwischen der DFNL und dem Achromaten ist der Krümmungsradius R der Prüfwelle in einem weiten Bereich durchstimmbar. Der Messbereich reicht für konkave Oberflächen von R=1m bis 350m und für konvexe Oberfächen von R=1,5m bis 350m. Dieser Messbereich schließt damit an den Messbereich an, der typischerweise durch konventionelle Radienmesstechniken abgedeckt werden kann. Das Erweiterungskit ist kompatibel zu allen marktgängigen Interferometern. [1] J.-M. Asfour, A. G. Poleshchuk: Asphere testing with a Fizeau interferometer based on a combined computer generated hologram, DGaO 2006, P29