Theoretische Untersuchung der Polarisationsabhängigkeit der inkohärenten Kontrastübertragungsfunktion bei hohen numerischen Aperturen

Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg

norbert.lindlein@optik.uni-erlangen.de

Abstract

Bei hohen numerischen Aperturen ist die elektrische Energiedichte im Fokus bekanntlich polarisationsabhängig. So ergibt zum Beispiel eine linear polarisierte ebene Welle, die mit Hilfe eines hochaperturigen Mikroobjektivs fokussiert wird, einen Fokus, der von der Rotationssymmetrie abweicht. Eine radial polarisierte Eingangswelle führt dagegen zu einem rotationssymmetrischen Fokus. Entsprechend ist auch die Kontrastübertragungsfunktion (MTF) bei radialer Polarisation rotationssymmetrisch, während sie bei linearer Polarisation von der Rotationssymmetrie abweicht. Die Abhängigkeit der MTF vom verwendeten Aperturwinkel wird für lineare, zirkulare und radiale Polarisation systematisch untersucht, wobei sowohl eine kreisförmige Vollapertur als auch eine Ringapertur verwendet werden. Dabei werden neben der gesamten elektrischen Energiedichte auch die für die jeweilige Polarisation vorteilhaften Komponenten der elektrischen Energiedichte im Fokus alleine benutzt. Diese könnte man nutzen, wenn ein polarisationsabhängiger Detektor zur Verfügung stände, der nur auf eine elektrische Feld-Komponente anspricht.

Keywords

Mikrolithografie Beugungstheorie
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@inproceedings{dgao108-b31, title = {Theoretische Untersuchung der Polarisationsabhängigkeit der inkohärenten Kontrastübertragungsfunktion bei hohen numerischen Aperturen}, author = {N. Lindlein, U. Peschel, G. Leuchs}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung}, year = {2007}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag B31} }
108. Jahrestagung der DGaO · Heringsdorf · 2007