Flexibler Asphärentest mit Membranspiegeln: Wellenfrontskalierung durch Mehrfachreflexion

Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart

hopp@ito.uni-stuttgart.de

Abstract

Mit adaptiven Membranspiegeln können hochgenau asphärische Wellenfronten erzeugt werden, was für die flexible interferometrische Vermessung von Asphären genutzt werden kann. Allerdings ist die Dynamik, das heißt die maximal erreichbare asphärische Deformation limitiert. Es wird ein Verfahren vorgestellt, das die asphärische Deformation des Membranspiegels über Mehrfachreflektion in eine asphärische Wellenfront umsetzt, die ein Vielfaches der Deformation des Membranspiegels beträgt. Die gezielte Selektion der gewünschten Anzahl an Reflektionen wird durch die Kombination einer kurzkohärenten Lichtquelle mit einer Vorschaltkavität erreicht. Der Versuchsaufbau wird erläutert und experimentelle Ergebnisse werden präsentiert.

Keywords

Optische Systeme Messtechnik Interferometrie
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@inproceedings{dgao108-p33, title = {Flexibler Asphärentest mit Membranspiegeln: Wellenfrontskalierung durch Mehrfachreflexion}, author = {D. Hopp, C. Pruß, W. Osten}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung}, year = {2007}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P33} }
108. Jahrestagung der DGaO · Heringsdorf · 2007