Unsicherheitsanalyse für das TMS Verfahren: Einfluss hoher Ortsfrequenzen des Prüflings

Die TMS (Traceable Multi Sensor) Methode ist ein Verfahren zur hochgenauen Vermessung von optischen Oberflächen. Dabei wird ein kompaktes flächenmessendes Interferometer scannend über den Prüfling bewegt, wobei die Verkippung des Interferometers mit einem Autokollimator gemessen wird. Das Interferometer wird hier als ein System von Abstandssensoren eingesetzt. Zusätzlich zum Abstand zwischen Interferometer und Prüfling für jede Messposition werden die systematischen Fehler des Interferometers für jeden einzelnen Abstandssensor aus den Messwerten berechnet. Um die Rechenzeit und speziell den Speicherbedarf zu minimieren werden nicht einzelne Pixel des Interferometers als Abstandssensoren genutzt, sondern es werden mehrere Pixel zu einem Abstandsmesswert zusammengefasst. Eine wesentliche Voraussetzung für den TMS Algorithmus ist die exakte laterale Positionierung der Abstandssensoren über dem Prüfling. Obige Faktoren sind besonders für hohe Ortsfrequenzen des Prüflings relevant. Hierzu werden Simulationsergebnisse präsentiert, welche neben der Generierung der Abstandsmesswerte aus mehreren Pixeln, der Lateralpositionierung auch die Verzeichnung berücksichtigen.