Schnelle Profilformbestimmung von diffraktiven Elementen durch Least-Square-Approximation mit verschobenen Basisfunktionen

Durch Erweiterung der Least-Square-Approximation mit verschobenen Basisfunktionen auf vektorielle Daten ist es möglich, aus Beugungsmessungen rückwärts auf verschiedene Gitterparameter zu schliessen. Hierzu modellieren wir die Beugungseffizienzen bei verschiedenen Polarisationen und Wellenlängen als vektorielle Superposition von Basisfunktionen. Die Beugungseffizienzen verschiedener Gitterprofile werden mit Hilfe elektromagnetischer Simulation basierend auf der Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA) berechnet und zu einem Vektor zusammengefasst. Durch Bestimmung der Koeffizienten mit Least-Square-Approximation erhält man eine analytische Darstellung des Vektorfeldes. Somit lassen sich sämtliche Werte im Parameterraum, insbesondere auch die Ableitungen bezüglich der Profilparameter des Beugungsgitters direkt bestimmen. Mit Hilfe von Standardalgorithmen der Optimierung lassen sich nun aus Messdaten die Gitterparameter bestimmen.