Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken

Carl Zeiss SMT AG

m.totzeck@smt.zeiss.com

Abstract

Zur Modellierung polarisierender optischer Systeme muss die skalare Pupillenfunktion durch eine Jones-Matrix Pupille ersetzt werden. Mittels der Singulärwertzerlegung ergeben sich aus ihr die Pupillenverläufe der Transmission, Phase, Diattenuation und Verzögerung, die zu jeweils spezifischen Abbildungsfehlern führen. Die Bildfehler lassen sich über eine von uns entwickelte modale Zerlegung - basierend auf Zernike-Polynomen - systematisch und anschaulich beschreiben. In diesem Beitrag stellen wir das Konzept der Singulärwertzerlegung der Jones-Pupille sowie Prinzip und Beispiele der modalen Zerlegung vor.

Keywords

Theoretische Grundlagen Prüfung optischer Systeme Mikrolithografie
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@inproceedings{dgao109-b17, title = {Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken}, author = {M. Totzeck, J. Ruoff, A. Göhnermeier, D. Krähmer, B. Geh}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 109. Jahrestagung}, year = {2008}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag B17} }
109. Jahrestagung der DGaO · Esslingen · 2008