Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken
Carl Zeiss SMT AG
Abstract
Zur Modellierung polarisierender optischer Systeme muss die skalare Pupillenfunktion durch eine Jones-Matrix Pupille ersetzt werden. Mittels der Singulärwertzerlegung ergeben sich aus ihr die Pupillenverläufe der Transmission, Phase, Diattenuation und Verzögerung, die zu jeweils spezifischen Abbildungsfehlern führen. Die Bildfehler lassen sich über eine von uns entwickelte modale Zerlegung - basierend auf Zernike-Polynomen - systematisch und anschaulich beschreiben. In diesem Beitrag stellen wir das Konzept der Singulärwertzerlegung der Jones-Pupille sowie Prinzip und Beispiele der modalen Zerlegung vor.
Keywords
Theoretische Grundlagen
Prüfung optischer Systeme
Mikrolithografie
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B17) und der hinterlegten E-Mail-Adresse einen Upload-Link anfordern.
@inproceedings{dgao109-b17,
title = {Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken},
author = {M. Totzeck, J. Ruoff, A. Göhnermeier, D. Krähmer, B. Geh},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 109. Jahrestagung},
year = {2008},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
note = {Talk B17}
}
109. Annual Conference of the DGaO · Esslingen · 2008