Eindimensionale Diffusoren für Laseranwendungen

Laserstrahl Homogenisierung ist ein wichtiges Thema für Laser-Microbearbeitung und andere Anwendungen, die auf eine bestmögliche Homogenität angewiesen sind. Für Flat-Top Pofile werden oft Wabenkondensoren verwendet. Diese haben jedoch den Nachteil, dass bei hoher Kohärenzlänge des Lasers unerwünschte Beugungsmuster mit hohem Kontrast auftreten. Mit Diffusoren ist es möglich, den Kontrast zu verringern und so den Strahl zu homogenisieren. Ein Diffusor basiert normaler weise auf einer statistischen Struktur. Zur Herstellung werden mechanische Methoden wie Sandstrahlen und Schleifen oder nasschemisches Ätzen als auch Holographie verwendet. Diese Diffusoren haben ein zweidimensionales Winkelspektrum. Für asymmetrische Strahlprofile sind aber besonders eindimensionale Diffusoren von Interesse. Durch Kombination von verschiedenen Technologien konnten wir eindimensionale Diffusoren aus Quarz für Hochleistungslaser herstellen. Wir zeigen Beispiele von eindimensionalen Diffusoren und diskutieren deren optische Eigenschaften. Zur Charakterisierung wurden Profilometermessungen, Microinterferenzmessungen und Goniometermessungen verwendet.