Besonderheiten bei der Reflexionsgradmessung zur Schichtcharakterisierung auf Floatglas

Zur Bestimmung der Dicke dielektrischer Schichten mit geringer Brechzahldifferenz zum Substrat (|dn| ~ 0.05) setzen wir ein Zweistrahl-Reflexionsgradmessverfahren ein. Anhand von drei Winkeln der Reflexionsgradkurven von beschichtetem und unbeschichtetem Substrat werden die Brechzahlen direkt berechnet sowie die Schichtdicke über eine Vorwärtssimulation ermittelt. Das Verfahren soll zur Beschichtungskontrolle von Floatglas eingesetzt werden. Bei der Floatglasherstellung wird die Glasschmelze auf ein Zinnbad gegossen. Auf Luft- und Zinnbadseite des Glases kommt es dabei insbesondere zu einer Diffusion von Zinn. Die Tiefenkonzentration der Zinnionen ändert den Brechungsindex des Glases. Welchen Einfluss das Brechungsindexprofil realer Floatgläser auf die Toleranz der Schichtcharakterisierung hat, wird anhand von Simulation und Messung dargestellt.