Absolute Topographievermessung gekrümmter optischer Oberflächen mit hoher lateraler Auflösung

Das Traceable Multi Sensor (TMS) System ist ein scannendes Messverfahren zur hochgenauen Topographievermessung von gekrümmten optischen Flächen. Es wird ein erweiterter Algorithmus vorgestellt, der es ermöglicht, den gesamten Prüfling in mehreren schnelleren Einzelmessungen zu vermessen, und die Ergebnisse dieser Einzelmessungen geeignet zu kombinieren. Der Vorteil dieses neuen Verfahrens ist, dass die für das TMS Verfahren erforderliche zeitliche Konstanz der systematischen Interferometerfehler sowie des Winkels zwischen Autokollimator und Prüfling nunmehr nur noch während der stark reduzierten Messzeit der schnellen Einzelmessungen gelten muss. Weiterhin ist die laterale Auflösung des Messsystems nun nur noch durch die Auflösung des verwendeten Interferometers begrenzt und nahezu unabhängig von dem Abstand zwischen zwei Messpositionen.