Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender Oberflächen

In der Prozess- und Qualitätskontrolle spielen die Erkennung und Einstufung von Oberflächenstrukturen und Defekten eine immer wichtigere Rolle. Häufig gestaltet sich die Bewertung als schwer automatisierbar und wird daher oft noch manuell durchgeführt. Die hierbei durch subjektive Inspektion entstehende Unsicherheit bei der Einteilung in unterschiedliche Defektkategorien und -stärken ist eine unvermeidbare Konsequenz. Mit der Methode des Makyoh-Imaging ("Ma-Kyoh", jap. für Geisterspiegel) steht ein leistungsstarkes, hochempfindliches Verfahren zur Verfügung, bei dem lokale konvexe und konkave Strukturen unter kollimierter Beleuchtung die Intensitätsverteilung im Reflex beeinflussen. Anhand einer am Fraunhofer IOF realisierten Messanordnung wird gezeigt, dass über den Reflex sowohl zuverlässig als auch schnell qualitative und quantitative Rückschlüsse auf globale Form, Oberflächenstruktur und Defekte möglich sind. Tiefenscharfe Lichtmuster ermöglichen eine großflächige Topografierekonstruktion bis in den Bereich weniger Nanometer. Ergebnisse untersuchter Feinstrukturen auf Wafern und polierten Glasoberflächen werden vorgestellt.