Unsicherheitsanalyse von Keilwinkelmessungen mit einem wellenlängenschiebenden Interferometer

Planplatten mit kleinem Keilwinkel in der Größenordnung weniger Winkelminuten werden z.B. bei der Kalibrierung von Zentrierprüfgeräten eingesetzt. Während sich größere Keilwinkel hochgenau mittels eines Goniometers mit Autokollimationsfernrohr bestimmen lassen, sind Messungen bei kleinen Keilwinkeln in der Regel nicht möglich, da sich die Reflexe der beiden Prüflingsflächen nicht trennen lassen. Diese Trennung kann ein wellenlängenschiebendes Interferometer leisten. Das Messverfahren unter Verwendung eines solchen Interferometers wird beschrieben und es werden Fehlereinflüsse diskutiert. Wenn der Keilwinkel aus der Höheninformation und der Lateralkoordinate berechnet wird, ist die Bestimmung der Lateralkoordinate von entscheidender Bedeutung. Begrenzende Faktoren sind auch der Einfluss des abbildenden Systems und die mögliche Verletzung des common path Prinzips. Die verschiedenen Einflüsse werden diskutiert und die resultierende Unsicherheit des Messprozesses wird herausgearbeitet.