Absolut-Abstandsreferenz für die Streifenreflexionstechnik zur Verringerung systematischer Messfehler
BIAS - Bremer Institut für angewandte Strahltechnik;2 CSIRO Materials Science and Engineering - Australian Centre for Precision Optics;3 VEW Vereinigte Elektronik Werkstätten GmbH Bremen;4 GOM - Gesellschaft für Optische Messtechnik mbH, Braunschweig
Abstract
Durch Einsatz der Streifenreflexionstechnik (SRT) lassen sich reflektierende Objekte flächig, schnell und mit geringer Messunsicherheit vermessen. Mit dem Verfahren werden die Gradienten der Objektoberfläche gemessen und die Kontur des Objekts anschließend durch Integration berechnet. Die korrekte Bestimmung der Gradienten setzt einen auf wenige Mikrometer genau bekannten Absolutabstand des Objektes zum Messkopf voraus. Ein nicht korrekter Absolutabstandswert resultiert in einem systematischen Fehler im Gradientenbild und somit auch in der berechneten Kontur. Um systematische Anteile des Messfehlers in die Größenordnung der niedrigen Messunsicherheit zu bringen, wurde ein robustes und einfaches Messsystem mit externer Bestimmung dieses Absolutabstands realisiert. Das System wird vorgestellt und die Qualifizierung anhand eines asphärischen Referenzobjekts präsentiert. Durch die Verringerung der systematischen Fehler wird die SRT zu einer Alternative zu aufwändigen interferometrischen Messungen an Freiformkörpern.