Nichtäquidistante Sensoranordnung zur absoluten Profilvermessung

Es wird eine Methode zur Verbesserung der lateralen Auflösung eines Multisensor-Verfahrens zur absoluten Profilmessung vorgestellt. Bei dem Messverfahren wird ein Linienarray aus Abstandssensoren über den Prüfling geführt. Die durch die Führung verursachte Verkippung wird zusätzlich mit einem Autokollimator gemessen. Anschließend wird aus den aufgenommen Messwerten die Gesamttopographie berechnet. Bisher wurde das Messverfahren mit einem kompakten Interferometer als Sensorarray genutzt. Um das Messverfahren auf Sensoren übertragen zu können, welche nicht beliebig dicht nebeneinander platziert werden können, müssen die Sensorabstände nichtäquidistant gewählt werden um weiterhin eine hohe laterale Auflösung erreichen zu können. Die Verwandtschaft zu Shearingmessverfahren wird erläutert. Anhand von Simulations- und Messergebnissen wird gezeigt, wie die Sensorabstände gewählt werden müssen um eine laterale Auflösung weit unterhalb des Sensorabstandes zu erreichen.