Interferometrie mit ultrakurzen Terahertz-Pulsen

Es werden erste Ergebnisse zu einem Interferometrieverfahren mit ultrakurzen Terahertz (THz)-Pulsen vorgestellt. Das Verfahren ist für Materialien geeignet, welche im THz-Bereich reflektieren (Metalle, Silizium, hochbrechende Kunststoffe, Keramiken), sowie für Schichtsysteme deren Grenzflächen mit THz-Pulsen charakterisiert werden können. Der Systemaufbau orientiert sich an einem Michelson-Interferometer zur tiefenaufgelösten Untersuchung von Probenstrukturen in Reflexion. Durch den erzeugten Phasenversatz zwischen Proben- und Referenzarm werden die reflektierten THz-Pulse destruktiv überlagert. In Abhängigkeit des Wegunterschieds zwischen Referenz- und Probenarm ergibt sich ein summierter Amplitudenwert, welcher anhand einer Kalibrierkurve der Probenstruktur zugeordnet wird. Mit der Interferometrie von ultrakurzen THz-Pulsen können Strukturen von mindestens 5 µm mit erhöhtem dynamischem Bereich aufgelöst werden.